Physical Vapor Transport Anlagen (PVT)

Sie beinhalten folgende Vorteile:

• Entwickelt für die Massenproduktion
• Konfigurierbar auch als Entwicklungsanlage mit maximaler Variabilität – Individualisierung möglich
• Kleiner Footprint
• Hohe Widerholgenauigkeit
• Hoher Qualitätsstandard für maximalen Yield
• Vorbereitet für die Vollautomatisierung im Shopfloor
• Anbindung an SECS / GEM
• Immer einen guten Kontakt zu unseren Experten der PVA Crystal Growing Sytems

Das sogenannte Physical Vapor Transport (PVT) Verfahren hat sich seit vielen Jahren als Standardmethode zur Herstellung von SiC-Volumenmaterial fest etabliert. Dabei wird der Rohstoff, z.B. SiC-Pulver, bei hohen Temperaturen von über 2000°C direkt aus dem festen in den gasförmigen Aggregatzustand überführt (sublimiert) und anschließend an einem Keimling abgeschieden. So wächst der Keimling in der Dicke zu einem monokristallinen Boule an.

Siliziumkarbid eignet sich vor allem für Endanwendungen, bei denen hohe Ströme möglichst verlustfrei geschalten werden sollen. Die aus Siliziumkarbidwafern hergestellten Bauelemente arbeiten sehr effizient. Dies wird gewährleistet durch die geringere Verlustleistung und höhere Wärmeleitfähigkeit der so hergestellten Schaltungen. So verwundert es nicht, dass dieses Material bei hohen Packungs- und Leistungsdichten zum Einsatz kommt, sowie dort wo eine aktive Kühlung aufwendig ist. SiC ist die ideale Grundlage für Anwendungen in der Leistungselektronik bis in den kV-Bereich, da es hohe Schaltspannungen ermöglicht.

Mit der Produktgruppe SiCma baut und entwickelt die PVA Crystal Growing Systems GmbH seit über zehn Jahren eine der erfolgreichsten, kommerziell frei verfügbaren PVT-Anlagen zur Herstellung von SiC-Einkristallen.

Physical Vapor Transport Anlagen der PVA Crystal Growing Systems GmbH haben sich bei Kunden aus Wissenschaft und Industrie vielfach bewährt. Durch kontinuierliche Weiterentwicklung und intensive Kooperationen mit Partnern aus Industrie und Wissenschaft wird sichergestellt, dass die PVT-Anlagen mit den Anforderungen unserer Kunden wachsen. Durch die gezielte Weiterentwickelung sorgen wir dafür, dass unsere Kunden sich auch in Zukunft im internationalen Wettbewerb durchsetzen können.