Physical Vapor Transport Anlagen (PVT)

Physical Vapor Transport (PVT) Anlagen sind für die Herstellung von hochwertigen Halbleiterkristallen wie Siliziumkarbid unerlässlich. Ein auf den herausfordernden Prozess optimierte PVT-Anlage zeichnet sich dadurch aus, dass sie hohe Temperaturen von über 2000 °C erzeugen und konstant halten kann, um Ausgangsmaterialien wie SiC-Pulver in Gas umzuwandeln. Das sublimierte SiC lagert sich dann auf einem Impfkristall ab, wo es einen monokristallinen Boule bildet. PVT-Anlagen müssen eine Reihe von Schlüsselanforderungen erfüllen, darunter eine kompakte Bauweise, präzise Wiederholbarkeit der Wachstumsbedingungen sowie hohe Qualität zur Maximierung der Ausbeute. Sie müssen zur Massenproduktion geeignet sein und gleichzeitig die nötige Flexibilität für Entwicklung und individuelle Anpassung bieten. Ein weiterer wichtiger Aspekt ist die Automatisierung. Die Anlagen müssen für die Vollautomatisierung in der Produktion und die Anbindung an z.B. SECS/GEM vorbereitet sein, um eine nahtlose Integration in die Produktionsumgebung zu ermöglichen.

Die PVA Crystal Growing Systems GmbH ist seit über einem Jahrzehnt ein führender Anbieter von PVT-Anlagen für die Herstellung von SiC-Einkristallen. Die Produktgruppe SiCma hat sich als die erfolgreichste, kommerziell frei verfügbare PVT-Anlage etabliert und wird seit über zehn Jahren hergestellt und stetig weiterentwickelt.

Unser Engagement für kontinuierliche Verbesserung und die enge Zusammenarbeit mit industriellen und akademischen Partnern stellt sicher, dass unsere PVT-Anlagen entsprechend den Anforderungen unserer Kunden weiterentwickelt werden. Dadurch fördern wir Innovation und Wettbewerbsfähigkeit auf globaler Ebene. Unsere Kunden profitieren von unserer Fokussierung auf gezielte Entwicklung, da sie sich dadurch an Marktveränderungen anpassen und eine starke internationale Präsenz aufrechterhalten können.