Hauptaugenmerk bei der Entwicklung war es, eine hohe Reproduzierbarkeit zu gewährleisten und die neuesten Anforderungen für High-End-Halbleiter mit minimalsten Strukturgrößen zu erfüllen.
Hauptvorteile:
- Fünfteiliger Kessel für einfachen Ein- und Ausbau von Hotzone-Teilen
- Hochglanzpolierte, wassergekühlte Kessel-Innenflächen aus hochwertigem Edelstahl, zur bestmöglichen Vermeidung von Kontaminationen
- State-of-the-art Technik gemäß den anerkannten sicherheitstechnischen Regeln und Vorschriften
- Hochpräzise Lager und Dichtungen verhindern eine Pendelbewegung des (Impf-)Kristalls in allen Phasen des Ziehvorgangs
- Ein Schaltnetzteil mit geringer Restwelligkeit erlaubt die Verwendung von Magnetfeldern ohne Vibrationen in der Hot-Zone zu verursachen wobei sowohl CUSP als auch transversal Magnete genutzt werden können
Die Antriebseinheiten und Rotationsmotoren der CGS 1218 werden durch einen geschlossenen Regelkreis gesteuert und nicht durch Spannungseingänge, Drehmomentschwankungen oder Magnetfelder beeinflusst. Der gesamte Kristallzuchtprozess ist über eine speicherprogrammierbare Steuerung (SPS) kontrollierbar. Sicherheitsmerkmale dieser Kristallzuchtanlage sind u.A. eine vollständige SiO-Oxidation während des Prozesses, sowie ein TÜV-zertifiziertes Sicherheitssystem für die Kristallkühlvorrichtung.