Czochralski-Anlagen

  • EKZ 3500

    Die Czochralski-Kristallzuchtanlage EKZ 3500 wurde speziell für die industrielle Produktion von monokristallinen Siliziumkristallen entwickelt. Die 24“- Heizeinrichtung ist ausgelegt für eine Beladung mit bis zu 150 kg Silizium (ohne Nachchargiereinheit) und Kristalle mit bis 300 mm (12“) Durchmesser.

    Die Kristallziehgeschwindigkeit beträgt bis zu 10 mm/min und die Rotationsgeschwindigkeiten von Kristall und Tiegel bis zu 35 U/min. Mit Hilfe eines Kamerasystems zur Durchmessererfassung und zwei Pyrometern zur Temperaturmessung ist eine automatische Prozesssteuerung mittels SPS (PLC) und PC möglich. Durch Einsatz einer Nachchargiereinheit (Feeder) kann an der EKZ 3500 die ursprüngliche Tiegelbeladung gesteigert werden (auf 200 kg) und es besteht weiterhin die Möglichkeit mehrere Kristalle aus einem Tiegel zu ziehen (Multipulling). Eine optionale aktive Kristallkühlung zur Erhöhung des axialen Temperaturgradienten kann zur deutlichen Steigerung der Kristallziehgeschwindigkeit und damit zur Verbesserung der Produktivität eingesetzt werden. Ein Tiegelbeladungssystem sowie ein Kristallentnahmesystem sind als Zubehör erhältlich. Die Anlage kann zusätzlich mit einem Magneten ausgestattet werden (Magnetic Czochralski, MCz).

    Produktdaten im Überblick

    Material: Silizium

    Heizeinrichtung
    Tiegeldurchmesser: bis zu 24‘‘
    Tiegelhöhe: bis zu 380 mm
    Siliziumeinwaage: bis zu 150 kg
    Mit Nachchargiereinheit: 200 kg

    Kristall
    Kristalldurchmesser: bis zu 300 mm (12’’)
    Kristalllänge: bis zu 2500 mm (≤ 8”)

    Vorschub- und Rotationsgeschwindigkeiten
    Ziehgeschwindigkeit Kristall (Prozess): bis zu 10 mm/min
    Kristallrotation: bis zu 35 rpm
    Tiegelhubgeschwindigkeit: bis zu 2 mm/min
    Tiegelrotation: bis zu 35 mm/min
    Kessel
    Kesseldurchmesser (ID): approx. 940 mm
    Kesselhöhe: approx. 1680 mm
    Schleusenventildurchmesser:    360 mm
    Schleuse: Tür oder Rohrschleuse

    Dimensionen
    Höhe (geöffnet): 10300 mm
    Höhe (geschlossen): 9200 mm
    Breite: 4200 mm
    Tiefe: 3800 mm
    Gewicht: 11160 kg
  • EKZ 2700

    Die Czochralski-Kristallzuchtanlage EKZ 2700 wurde speziell für die industrielle Produktion von monokristallinen Siliziumkristallen entwickelt. Die 22-Zoll Hotzone ist ausgelegt für eine Beladung mit bis zu 120 kg Silizium (ohne Nachchargiereinheit) und Kristalle mit 200 mm (8 Zoll) Durchmesser im Standardprozess – Durchmesser von bis zu 230 mm (9 Zoll) sind möglich.

    Die Kristallziehgeschwindigkeit beträgt max. 10 mm/min und die Rotationsgeschwindigkeiten von Kristall und Tiegel bis zu 35 U/min. Mit Hilfe eines Kamerasystems zur Durchmessererfassung und zwei Pyrometern zur Temperaturmessung ist eine automatische Prozesssteuerung mittels SPS (PLC) und PC möglich. Durch Einsatz einer Nachchargiereinheit (Feeder) kann die ursprüngliche Tiegelbeladung der EKZ 2700 auf 150 kg gesteigert werden. Weiterhin besteht die Möglichkeit, mehrere Kristalle aus einem Tiegel zu ziehen (Multipulling). Eine optionale aktive Kristallkühlung zur Erhöhung des axialen Temperaturgradienten kann zur deutlichen Steigerung der Kristallziehgeschwindigkeit und damit zur Verbesserung der Produktivität eingesetzt werden. Weiterhin sind sowohl ein Tiegelbeladungssystem als auch ein Kristallentnahmesystem erhältlich.

    Produktdaten im Überblick

    Material: Silizium, Germanium

    Heizeinrichtung
    Tiegeldurchmesser: bis zu 22‘‘
    Tiegelhöhe: bis zu 390 mm
    Siliziumeinwaage: bis zu 120 kg
    Mit Nachchargiereinheit: max. 150 kg

    Kristall
    Kristalldurchmesser: bis zu 230 mm (9’’)
    Kristalllänge: bis zu 2500 mm

    Vorschub- und Rotationsgeschwindigkeiten
    Ziehgeschwindigkeit Kristall (Prozess): bis zu 10 mm/min
    Kristallrotation: bis zu 35 rpm
    Tiegelhubgeschwindigkeit: bis zu 2 mm/min
    Tiegelrotation: bis zu 35 mm/min
    Kessel
    Kesseldurchmesser: ca. 884 mm
    Kesselhöhe: ca. 1450 mm
    Schleusenventildurchmesser:    300 mm
    Schleuse: Tür

    Dimensionen
    Höhe (geöffnet): 9200 mm
    Höhe (geschlossen): 8400 mm
    Breite: 3600 mm
    Tiefe: 4500 mm
    Gewicht (total): 8800 kg
  • CGS-Lab

    Die CGS-Lab ist in unserem Portfolio die kleinste Czochralski-Kristallzuchtanlage, speziell entwickelt für Institute und Laboratorien. Die 10-Zoll Hotzone ist ausgelegt für eine Beladung mit bis zu 8 kg Silizium und Kristalle mit 100 mm Durchmesser und einer Länge von 300 mm. Mit einer Höhe von 3,4 m im geöffneten Zustand ist der Anspruch an die Höhe der Räumlichkeiten gering.

    Die Zieh- und Rotationsgeschwindigkeiten entsprechen denen der „großen“ Czochralski-Anlagen, d.h. eine Kristallziehgeschwindigkeit von bis zu 10 mm/min und Rotationsgeschwindigkeiten von Kristall und Tiegel bis zu 35 U/min.
    Mit Hilfe eines Kamerasystems zur Durchmessererfassung und zwei Pyrometern zur Temperaturmessung ist eine automatische Prozesssteuerung mittels SPS (PLC) und PC möglich. Ein auf die Bedürfnisse der Anlage abgestimmtes System von Vakuumpumpen und Staubfilter (SiO) wird angeboten.

    Produktdaten im Überblick

    Material: Silizium, Germanium

    Heizeinrichtung
    Tiegeldurchmesser: bis zu 10‘‘
    Siliziumeinwaage: bis zu 8 kg

    Kristall
    Kristalldurchmesser: bis zu 100 mm(4’’)
    Kristalllänge: bis zu 300 mm

    Vorschub- und Rotationsgeschwindigkeiten
    Ziehgeschwindigkeit Kristall (Prozess): bis zu 10 mm/min
    Kristallrotation: bis zu 35 rpm
    Tiegelhubgeschwindigkeit: bis zu 2 mm/min
    Tiegelrotation: bis zu 35 mm/min
    Kessel
    Kesseldurchmesser: ca. 590 mm
    Kesselhöhe: ca. 1000 mm
    Schleuse: Tür

    Dimensionen
    Höhe (geöffnet): 3400 mm
    Höhe (geschlossen): 3200 mm
    Breite: 4500 mm
    Tiefe: 2100 mm
    Gewicht (total): 2500 kg
  • SC 22

    Die Czochralski-Kristallzuchtanlage SC 22 wurde speziell für die industrielle Produktion von monokristallinen Siliziumkristallen (Ingots) entwickelt. Das modulare Konzept des Systems erlaubt eine flexible Anpassung an die Bedürfnisse des Kunden. Die 22“-Heizeinrichtung (Hotzone) ist optimiert auf geringen Energieverbrauch und ausgelegt für eine Beladung mit bis zu 140 kg Silizium (ohne Nachchargiereinheit) und Kristalle mit 200 mm (8“) Durchmesser im Standardprozess - Durchmesser bis zu 230 mm (9“) sind möglich.

    Je nach Durchmesser und Beladung können Kristalle mit einer Länge von bis zu 2,8 m gezogen werden. Die Kristallziehgeschwindigkeit beträgt max. 10 mm/min und die Rotationsgeschwindigkeiten von Kristall und Tiegel bis zu 35 U/min. Mit Hilfe eines Kamerasystems zur Durchmessererfassung und zwei Pyrometern zur Temperaturmessung ist eine automatische Prozesssteuerung mittels SPS (PLC) und PC möglich. Die benutzerfreundliche graphische Oberfläche zur Prozesssteuerung und -kontrolle ist für die Massenproduktion optimiert. Ein auf die Bedürfnisse der Anlage abgestimmtes System von Vakuumpumpen und Staubfilter (SiO) ist ebenfalls erhältlich. Durch Einsatz einer Nachchargiereinheit (Feeder) kann an der SC 22 die ursprüngliche Tiegelbeladung auf 180 kg gesteigert werden. Weiterhin besteht die Möglichkeit, mehrere Kristalle aus einem Tiegel zu ziehen (Multipulling). Eine optionale aktive Kristallkühlung zur Erhöhung des axialen Temperaturgradienten kann zur deutlichen Steigerung der Kristallziehgeschwindigkeit und damit zur Verbesserung der Produktivität eingesetzt werden. Ein Tiegelbeladungssystem sowie ein Kristallentnahmesystem sind als Zubehör erhältlich.

    Produktdaten im Überblick

    Material: Silizium

    Heizeinrichtung
    Tiegeldurchmesser: bis zu 22‘‘
    Tiegelhöhe: bis zu 430 mm
    Siliziumeinwaage: bis zu 140 kg
    mit Nachchargiereinheit: 180 kg

    Kristall
    Kristalldurchmesser: bis zu 230 mm(9’’)
    Kristalllänge: bis zu 2800 mm

    Vorschub- und Rotationsgeschwindigkeiten
    Ziehgeschwindigkeit Kristall (Prozess): bis zu 10 mm/min
    Kristallrotation: bis zu 35 rpm
    Tiegelhubgeschwindigkeit: bis zu 2 mm/min
    Tiegelrotation: bis zu 35 mm/min
    Kessel
    Kesseldurchmesser: ca. 930 mm
    Kesselhöhe: ca. 1520 mm
    Schleusenventildurchmesser: 304 mm
    Schleuse: Rohrschleuse

    Dimensionen
    Höhe (geöffnet): 8780 mm
    Höhe (geschlossen): 7350 mm
    Breite: 3900 mm
    Tiefe: 3300 mm
    Gewicht (total): 8500 kg
  • SC 24

    Die Czochralski-Kristallzuchtanlage SC 24 wurde speziell für die industrielle Produktion von monokristallinen Siliziumkristallen (Ingots) entwickelt. Das modulare Konzept des Systems erlaubt eine flexible Anpassung an die Bedürfnisse des Kunden. Die 24“-Heizeinrichtung (Hotzone) ist optimiert auf geringen Energieverbrauch und ausgelegt für eine Beladung mit bis zu 160 kg Silizium (ohne Nachchargiereinheit) sowie für Kristalle mit bis zu 230 mm (9“) Durchmesser. Je nach Durchmesser und Beladung können Kristalle mit einer Länge von bis zu 2,9 m gezogen werden. Die Kristallziehgeschwindigkeit beträgt max. 10 mm/min und die Rotationsgeschwindigkeiten von Kristall und Tiegel bis zu 35 U/min.

    Mit Hilfe eines Kamerasystems zur Durchmessererfassung und zwei Pyrometern zur Temperaturmessung ist eine automatische Prozesssteuerung mittels SPS (PLC) und PC möglich. Die benutzerfreundliche graphische Oberfläche zur Prozesssteuerung und -kontrolle ist für die Massenproduktion optimiert. Ein auf die Bedürfnisse der Anlage abgestimmtes System von Vakuumpumpen und Staubfiltern (SiO) ist ebenfalls erhältlich.
    Durch Einsatz einer Nachchargiereinheit (Feeder) kann die ursprüngliche Tiegelbeladung der SC 24 auf 220 kg gesteigert werden. Weiterhin besteht die Möglichkeit, mehrere Kristalle aus einem Tiegel zu ziehen (Multipulling). Eine optionale aktive Kristallkühlung zur Erhöhung des axialen Temperaturgradienten kann zur deutlichen Steigerung der Kristallziehgeschwindigkeit und damit zur Verbesserung der Produktivität eingesetzt werden. Ein Tiegelbeladungssystem sowie ein Kristallentnahmesystem sind als Zubehör erhältlich.

    Produktdaten im Überblick

    Material: Silizium

    Heizeinrichtung
    Tiegeldurchmesser: bis zu 24‘‘
    Tiegelhöhe: bis zu 430 mm
    Siliziumeinwaage: bis zu 160 kg
    mit Nachchargiereinheit: 220 kg

    Kristall
    Kristalldurchmesser: bis zu 230 mm(9’’)
    Kristalllänge: bis zu 2900 mm

    Vorschub- und Rotationsgeschwindigkeiten
    Ziehgeschwindigkeit Kristall (Prozess): bis zu 10 mm/min
    Kristallrotation: bis zu 35 rpm
    Tiegelhubgeschwindigkeit: bis zu 2 mm/min
    Tiegelrotation: bis zu 35 mm/min
    Kessel
    Kesseldurchmesser: ca. 980 mm
    Kesselhöhe: ca. 1670 mm
    Schleusenventildurchmesser: 304 mm
    Schleuse: Rohrschleuse

    Dimensionen
    Höhe (geöffnet): 9500 mm
    Höhe (geschlossen): 7900 mm
    Breite: 3700 mm
    Tiefe: 4200 mm
    Gewicht (total): 9300 kg

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